- 产品性能
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常用温度：500℃～1280℃
最高温度：1320℃
保持温度精度：≤±5℃
到達真空度：≤1.3Pa
リークアップレート：≤0.3Pa/hr
昇温時間：≤45min 室温から1100℃迄
最大冷却圧力：2.8bar
- 设备特征
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1、コンパクトな横型単室設計で、ドアの開閉方式はお客様のご指定により設計可能。
2、ヒータを上下及び両サイドの4面に配置し、分割制御で温度分布の均一性を効果的に向上させる。
3、加熱室内面はモリブデン板若しくはグラファイト板で被覆しており、お客様のプロセスニーズに応える。
4、最大2.8barの加圧による急速冷却が可能。
5、対流加熱がオプションとして選択可能で、お客様のニーズに応える。
- 工艺流程
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搬入---真空引き---真空加熱---真空保温---高圧冷却---搬出
- 产品参数
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有効加熱帯(W×H×L) 800×800×1300mm 有効容積 9.5M3 処理量（装入質量） 1100kg 設備重量 16T 最高温度 1320℃ 保持温度精度（空炉） ≤±5℃ ヒータ出力 300KW 電源容量 355KVA 最大冷却圧力 130Kpa-280Kpa 到達真空度（常用ポンプ組） ≤1.3×100 Pa 到達真空度（高真空ポンプ組） ≤7.0×10-3 Pa リークアップレート ≤0.3Pa/hr 冷却水の消費量 15m3/h 窒素ガスの消費量（1サイクル） 25m3 *お客様のご指定による仕様変更が可能
